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J-GLOBAL ID：200902015543637938   整理番号：91A0506014

Multichamber RIE Processing for III-V Optoelectronic Devices.

著者 (3件)： ROTHMAN M A (GTE Lab. Inc., MA) ,  THOMPSON J A (GTE Lab. Inc., MA) ,  ARMIENTO C A (GTE Lab. Inc., MA)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 1392  ページ： 598-604  発行年： 1991年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (1件)： RIE