グロー放電a-Si:H膜の光電特性

文献

J-GLOBAL ID：200902015547223208 整理番号：85A0244658

Photoelectric properties of glow discharged a-Si:H.

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資料名：
巻： 84 号： 311 ページ： 81-88(SSD84-159) 発行年： 1985年03月11日
JST資料番号： S0532B 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

成膜条件を変えて膜のモルフォロジイ制御を行い,電子輸送現象や...

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固体デバイス一般 , 半導体薄膜

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