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J-GLOBAL ID：200902015548360306   整理番号：90A0804473

Optimisation of the dry development for the DESIRE process.

著者 (4件)：
LOMBAERTS R

LOMBAERTS R について

(UCB Electronics, Haasrode, BEL)

UCB Electronics, Haasrode, BEL について

, 
ROLAND B

ROLAND B について

(UCB Electronics, Haasrode, BEL)

UCB Electronics, Haasrode, BEL について

, 
GOETHALS A M

GOETHALS A M について

(IMEC, Heverlee, BEL)

IMEC, Heverlee, BEL について

, 
VAN DEN HOVE L

VAN DEN HOVE L について

(IMEC, Heverlee, BEL)

IMEC, Heverlee, BEL について


資料名：
Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)

Proceedings of SPIE について


巻： 1262  ページ： 312-319  発行年： 1990年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

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