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J-GLOBAL ID:200902015561067960   整理番号:91A0658181

TiN膜/鋼基板界面の構造と化学に対する蒸着後熱処理の効果

Effect of post-deposition annealing on structure and chemistry of the TiN film/steel substrate interfaces.
著者 (2件):
資料名:
巻:号: 3 Pt 1  ページ: 439-443  発行年: 1991年05月 
JST資料番号: C0789B  ISSN: 0734-2101  CODEN: JVTAD6  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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500及び1000°Cでの蒸着後熱処理中にTiN膜とAISI ...
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分類 (2件):
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その他の無機化合物の薄膜  ,  変態組織,加工組織 

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