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文献J-GLOBAL ID:200902015561067960整理番号:91A0658181

Effect of post-deposition annealing on structure and chemistry of the TiN film/steel substrate interfaces.

TiN膜/鋼基板界面の構造と化学に対する蒸着後熱処理の効果

著者:ERDEMIR A(Argonne National Lab., Illinois)、CHENG C C(Inland Steel Co., Indiana)
資料名:J Vac Sci Technol A 巻:9 号:3 Pt 1 ページ:439-443
発行年:1991年05月
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