集積けい素圧力センサの最近の状況

文献

J-GLOBAL ID：200902015562622526 整理番号：86A0396408

An update on the integration of silicon pressure sensors.

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資料名：
巻： 29 ページ： 27.4.1-27.4.5 発行年： 1985年
JST資料番号： B0197A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：解説発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

最近の標記圧力センサの進歩について概説した。このチップ内に温...

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力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器

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