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文献の詳細情報

文献J-GLOBAL ID:200902015564900825整理番号:92A0415549

2ピッチ格子投影による3次元形状計測

Profile Measurement by Two-pitch Grating Projection.

著者:格内敏(姫路工大 工)、岩田耕一(大阪府大 工)、斎藤伸一(姫路工大 工)・・・
資料名:精密工学会誌 巻:58 号:5 ページ:877-882
発行年:1992年05月
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