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J-GLOBAL ID：200902015566798432   整理番号：85A0132624

亜酸化窒素によるモノシランの酸化における二酸化けい素層成長の規則性

Закономерности роста слоев двуокиси кремния при окислении моносилана закисью азота.

著者 (2件)： ВАСИЛЬЕВА Л Л ,  НЕСТЕРОВА С Н
資料名： Kinetika i Kataliz  (Kinetika i Kataliz)
巻： 25  号： 5  ページ： 1064-1068  発行年： 1984年09月 
JST資料番号： R0051B  ISSN： 0453-8811  CODEN： KNKTA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ロシア (RUS)  言語： ロシア語 (RU)

抄録/ポイント： 流通石英反応器中,常圧ないし低圧(10~20mmHg),56...

シソーラス用語： シラン ,...

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分類 (1件)： 不均一系触媒反応  (CB06100E)

タイトルに関連する用語 (6件)： 亜酸化窒素 ,  モノシラン ,  酸化 ,  けい素層 ,  成長 ,  規則性