Si上のTiSi<sub>2</sub>の形態と相安定性

JEON H; SUKOW C A; HONEYCUTT J W; ROZGONYI G A; NEMANICH R J

文献

J-GLOBAL ID：200902015582949297 整理番号：92A0424499

Si上のTiSi₂の形態と相安定性

Morphology and phase stability of TiSi₂ on Si.

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資料名：
巻： 71 号： 9 ページ： 4269-4276 発行年： 1992年05月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

清浄化したSi上に超高真空中でTiを蒸着し,その場アニールま...

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半導体-金属接触【’81~’92】 , 金属薄膜

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Si上のTiSi2の形態と相安定性

Si上のTiSi₂の形態と相安定性