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J-GLOBAL ID：200902015590129606   整理番号：90A0312912

イオンプラズマビームによる多層構造の蒸着と混合

Deposition and mixing of multilayer structures with the ion plasma beam.

著者 (4件)： AKSENOV A O ,  PANKOVETS N G ,  POGREBNYAK A D ,  TOLOPA A M
資料名： Physics and Chemistry of Materials Treatment  (Physics and Chemistry of Materials Treatment)
巻： 23  号： 4  ページ： 287-290  発行年： 1989年 
JST資料番号： E0829B  ISSN： 0264-729X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 100μmAl箔上に50nm厚のCu膜を作ったり,同じAl箔...

シソーラス用語： アルミニウム ,...

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分類 (1件)： 金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (4件)： イオン ,  プラズマビーム ,  多層構造 ,  蒸着