J-GLOBAL ID:200902015594711768整理番号:88A0530744
Interferometric measurement of substrate heating induced by pulsed laser irradiation.
パルスレーザの放射で加熱された基板の干渉計測
著者:SAENGER K L(IBM Thomas J. Watson Research Center, NY, USA)
資料名:J Appl Phys 巻:63 号:8 Pt1 ページ:2522-2525
発行年:1988年04月15日
資料名:J Appl Phys 巻:63 号:8 Pt1 ページ:2522-2525
発行年:1988年04月15日