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J-GLOBAL ID：200902015597928873   整理番号：83A0047258

モノリシック弾性表面波デバイスに及ぼす不均一圧電膜の効果

Effect of nonuniform piezoelectric films on monolithic surface acoustic wave devices.

著者 (5件)： BOWERS J E (Stanford Univ., California) ,  THORNTON R L (Stanford Univ., California) ,  KHURI-YAKUB B T (Stanford Univ., California) ,  JUNGERMAN R L (Stanford Univ., California) ,  KINO G S (Stanford Univ., California)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 41  号： 9  ページ： 805-807  発行年： 1982年11月01日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シリコン弾性表面波遅延線上のZnOの性能に及ぼす膜厚変動の影...

シソーラス用語： 弾性表面波素子 ,...
準シソーラス用語： モノリシック集積回路

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分類 (3件)： 弾性表面波デバイス  (NC03120T) ,  音波伝搬  (BB03030G) ,  音響変換器,その他の機器  (BB03060N)

タイトルに関連する用語 (3件)： 弾性表面波デバイス ,  不均一 ,  圧電膜