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文献
J-GLOBAL ID:200902015601133040   整理番号:93A0046666

軸方向の磁場と多重極磁場を持つ大口径マイクロ波イオン源

Large diameter microwave ion source with axial and multipole magnetic fields.
著者 (7件):
資料名:
巻: 1st  ページ: 79-82  発行年: 1992年06月 
JST資料番号: Z0828B  ISSN: 0918-287X  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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通常の大電流イオン源は熱いフィラメントを持つプラズマ源から抽...
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分類 (2件):
分類
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電子源,イオン源  ,  プラズマ装置 
タイトルに関連する用語 (5件):
タイトルに関連する用語
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