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J-GLOBAL ID：200902015608591914   整理番号：84A0140885

酸素沈殿の減少

Reduction of oxygen precipitation.
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著者 (3件)：
BEYER K D

BEYER K D について

(IBM Corp.)

IBM Corp. について

, 
BISCHOFF B K

BISCHOFF B K について

(IBM Corp.)

IBM Corp. について

, 
STRUDWICK T H

STRUDWICK T H について

(IBM Corp.)

IBM Corp. について


資料名：
IBM Technical Disclosure Bulletin  (IBM Technical Disclosure Bulletin)

IBM Technical Disclosure Bulletin について


巻： 26  号： 3A  ページ： 1053  発行年： 1983年08月 
JST資料番号： E0292B  ISSN： 0018-8689  CODEN： IBMTA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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30ppmより大きい酸素濃度をもち,O2</sub...
シソーラス用語：
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超小形回路技術

超小形回路技術 について

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分類 (1件)：
分類
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固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

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タイトルに関連する用語 (2件)：
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酸素

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沈殿

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