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文献J-GLOBAL ID:200902015616863966整理番号:88A0070791

On three-dimensional transport phenomena in CVD processes.

CVDプロセスにおける三次元輸送現象

著者:RHEE S(Massachusetts Inst. Technology, MA, USA)、SZEKELY J(Massachusetts Inst. Technology, MA, USA)、ILEGBUSI O J(Massachusetts Inst. Technology, MA, USA)
資料名:J Electrochem Soc 巻:134 号:10 ページ:2552-2559
発行年:1987年10月
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