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J-GLOBAL ID：200902015634157920   整理番号：90A0383506

レーザおよび熱アニールされたAsイオン注入Si試料の電気的活性度と構造進展の相関

Electrical activity and structural evolution correlations in laser and thermally annealed As-implanted Si specimens.

著者 (8件)： PARISINI A (Inst. LAMEL, CNR, Bologna, ITA) ,  BOURRET A (Centre d’Etudes Nucleaires, Grenoble, FRA) ,  ARMIGLIATO A (Inst. LAMEL, CNR, Bologna, ITA) ,  SERVIDORI M (Inst. LAMEL, CNR, Bologna, ITA) ,  SOLMI S (Inst. LAMEL, CNR, Bologna, ITA) ,  FABBRI R (Inst. LAMEL, CNR, Bologna, ITA) ,  REGNARD J R (Centre d’Etudes Nucleaires, Grenoble, FRA) ,  ALLAIN J L (Centre d’Etudes Nucleaires, Grenoble, FRA)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 67  号： 5  ページ： 2320-2332  発行年： 1990年03月01日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 1-5×10¹⁶As/cm<sup>2...

シソーラス用語： レーザアニーリング ,...

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分類 (1件)： 半導体の放射線による構造と物性の変化  (BK16123E)

タイトルに関連する用語 (9件)： レーザ ,  熱アニール ,  Asイオン ,  注入 ,  Si ,  試料 ,  電気的活性 ,  進展 ,  相関