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J-GLOBAL ID:200902015634783821   整理番号:88A0235855

電子(パルス)照射時のn型けい素中の固有点欠陥と不純物原子との相互作用

Взаимодействие собственных точечных дефектов с примесными атомами фосфора в кремнии n-типа при электронном (импульсном) облучении.
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資料名:
巻: 21  号: 11  ページ: 2106-2109  発行年: 1987年11月 
JST資料番号: R0267A  ISSN: 0015-3222  CODEN: ETPPA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: ロシア (RUS)  言語: ロシア語 (RU)
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ゾーン融解Si:P単結晶試料を900keVの電子で二つのやり...
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半導体の放射線による構造と物性の変化 

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