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文献
J-GLOBAL ID:200902015640476990   整理番号:90A0597601

特集 クリーンルームの静電気対策 静電気による微粒子の付着

Aerosol deposition due to electrostatics.
著者 (2件):
資料名:
巻: 27  号:ページ: 406-415  発行年: 1990年04月 
JST資料番号: G0779A  ISSN: 0023-5032  CODEN: KUSEBF  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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クリーンルームにおけるウエハ表面への微粒子沈着に関する実験と...
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分類 (2件):
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集積回路一般  ,  空気浄化 
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