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J-GLOBAL ID：200902015641367850   整理番号：92A0337378

N-(tert-ブトキシ)マレイミドの合成と重合及びそのポリマの化学的増幅レジスト応用のための特性

Synthesis and Polymerizations of N-(tert-Butoxy) Maleimide and Characeristic Properties of its Polymer for Application as Chemical Amplification Resists.

著者 (2件)： AHN K-D (Korea Inst. Science and Technology, Seoul, KOR) ,  KOO D-I (Korea Inst. Science and Technology, Seoul, KOR)
資料名： Polymeric Materials Science and Engineering  (Polymeric Materials Science and Engineering)
巻： 66  ページ： 249-250  発行年： 1992年 
JST資料番号： B0886A  ISSN： 0743-0515  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 新規保護マレイミドモノマとしてN-(tert-ブトキシ)マレ...

シソーラス用語： 共重合体 ,...
準シソーラス用語： マレインイミド ,...

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分類 (3件)： 高分子の分解,劣化  (CG03010A) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  各種写真法  (ZA03040M)

タイトルに関連する用語 (9件)： TERT ,  ブトキシ ,  マレイミド ,  重合 ,  ポリマ ,  化学 ,  増幅 ,  レジスト ,  応用