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J-GLOBAL ID:200902015648879341   整理番号:84A0011020

接触抵抗とその測定手段

Contact resistance and methods for its determination.
著者 (1件):
資料名:
巻: 104  号: 3/4  ページ: 361-379  発行年: 1983年06月24日 
JST資料番号: B0899A  ISSN: 0040-6090  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 文献レビュー  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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低抵抗のオーム接触は近年VLSIのスケーリング効果の点から非...
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分類 (2件):
分類
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界面の電気的性質一般【’81~’92】  ,  R,L,C,Q,インピーダンス,誘電率の計測法・機器 
タイトルに関連する用語 (1件):
タイトルに関連する用語
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