ポリイミド表面上のTaF<sub>5</sub>前駆体による化学蒸着のX線光電子分光法による研究

UGOLINI D; KOWALCZYK S P; MCFEELY F R

文献

J-GLOBAL ID：200902015658231684 整理番号：93A0096761

ポリイミド表面上のTaF₅前駆体による化学蒸着のX線光電子分光法による研究

X-ray photoelectron spectroscopic studies of chemical vapor deposition with TaF₅ precursor on polyimide surfaces.

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巻： 72 号： 10 ページ： 4912-4917 発行年： 1992年11月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

ポリイミド(無水ピロメリト酸オキシジアニリン)上に前駆体とし...

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金属薄膜

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ポリイミド表面上のTaF5前駆体による化学蒸着のX線光電子分光法による研究

ポリイミド表面上のTaF₅前駆体による化学蒸着のX線光電子分光法による研究