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文献
J-GLOBAL ID:200902015670878391   整理番号:87A0141574

C2F6-H2放電での重合膜の形成

Polymer film formation in C2F6-H2 discharges.
著者 (7件):
資料名:
巻: 143  号:ページ: 163-175  発行年: 1986年10月01日 
JST資料番号: B0899A  ISSN: 0040-6090  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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標記混合ガスのrf放電によるふっ素樹脂薄膜の化学構造と成長機...
シソーラス用語:
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分類 (2件):
分類
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有機化合物の薄膜  ,  脂肪族,脂環式化合物の重合【’81~’92】 
タイトルに関連する用語 (3件):
タイトルに関連する用語
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