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文献J-GLOBAL ID:200902015686904317整理番号:86A0112923

Поликристаллические слои кремния.

けい素の多結晶層

著者:ЧАЩИНОВ Ю М、БОГОМАЗ А В、ФАЛЬКЕВИЧ Э С・・・
資料名:Izv Akad Nauk SSSR Neorg Mater 巻:21 号:9 ページ:1445-1448
発行年:1985年09月
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