文献
J-GLOBAL ID：200902015692494155   整理番号：92A0661006

Pumping behavior of sputtering ion pump.

著者 (3件)：
CHOU T S

CHOU T S について

(Brookhaven National Lab., New York)

Brookhaven National Lab., New York について

, 
BITTNER J

BITTNER J について

(Brookhaven National Lab., New York)

Brookhaven National Lab., New York について

, 
SCHUCHMAN J

SCHUCHMAN J について

(Brookhaven National Lab., New York)

Brookhaven National Lab., New York について


資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)

Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films について


巻： 10  号： 4 Pt 3  ページ： 2639-2641  発行年： 1992年07月 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

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