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J-GLOBAL ID：200902015696319420   整理番号：87A0193865

工業計装制御用Siダイアフラム加速度計

Silicon diaphragm accelerometer for industrial control.
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著者 (4件)：
SUMINTO J

SUMINTO J について

(Case Western Reserve Univ., OH, USA)

Case Western Reserve Univ., OH, USA について

, 
YEH G J

YEH G J について

(Case Western Reserve Univ., OH, USA)

Case Western Reserve Univ., OH, USA について

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KO W H

KO W H について

(Case Western Reserve Univ., OH, USA)

Case Western Reserve Univ., OH, USA について

, 
JOHNSON G W

JOHNSON G W について

(Allied Automotive Technical Center, MI, USA)

Allied Automotive Technical Center, MI, USA について


資料名：
Proceedings of the International Symposium on Microelectronics  (Proceedings of the International Symposium on Microelectronics)

Proceedings of the International Symposium on Microelectronics について


巻： 1986  ページ： 177-181  発行年： 1986年 
JST資料番号： A0946B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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Siマイクロ加工技術を応用して標題のコンデンサ型加速度計を開...
シソーラス用語：
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加速度計

加速度計 について

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分類 (2件)：
分類
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時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器 
(AD05040K)

時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器 について

,  混成集積回路 
(NC03163K)

混成集積回路 について

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ダイアフラム

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加速度計

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