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J-GLOBAL ID：200902015697660800   整理番号：90A0483366

化学蒸着法による鋼材表面のTiN被膜生成条件

Optimum condition for the forming of TiN films on steel substrates by chemical vapour deposition.

著者 (6件)： 岩井彦哉 (産業技短大) ,  厚井寿弘 (産業技短大) ,  伊藤弘之 (産業技短大) ,  信濃昇 (産業技短大) ,  堂下芳一 (産業技短大) ,  福田智志 (産業技短大)
資料名： 材料とプロセス  (日本鉄鋼協会講演論文集)
巻： 3  号： 2  ページ： 680  発行年： 1990年03月 
JST資料番号： X0994A  ISSN： 0914-6628  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 熱CVD法により,TiCl₄,N<su...

シソーラス用語： 化学蒸着 ,...

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分類 (1件)： 気相めっき  (WC08022K)

タイトルに関連する用語 (3件)： 化学蒸着法 ,  鋼材表面 ,  TiN被膜