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J-GLOBAL ID：200902015700078425   整理番号：90A0152896

ドライ・エッチングによりGaInAsP/InPに形成した単一モード低損失の埋込形光導波路曲り

Single-mode low-loss buried optical waveguide bends in GaInAsP/InP fabricated by dry etching.

著者 (4件)： SINGH J (British Telecom Research Lab., Ipswich, GBR) ,  HENNING I (British Telecom Research Lab., Ipswich, GBR) ,  HARLOW M (British Telecom Research Lab., Ipswich, GBR) ,  COLE S (British Telecom Research Lab., Ipswich, GBR)
資料名： Electronics Letters  (Electronics Letters)
巻： 25  号： 14  ページ： 899-900  発行年： 1989年07月06日 
JST資料番号： A0887A  ISSN： 0013-5194  CODEN： ELLEAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： InP基板上のMOVPE(有機金属気相エピタクシー)成長によ...

シソーラス用語： 光導波路 ,...

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分類 (2件)： 光集積回路,集積光学  (BD06050D) ,  光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H)

タイトルに関連する用語 (8件)： エッチング ,  GaInAsP ,  InP ,  単一モード ,  低損失 ,  埋込 ,  光導波路 ,  曲り