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文献
J-GLOBAL ID:200902015700394475   整理番号:88A0505225

光音響法による基板上薄膜の温度伝導率測定の研究 I 測定原理の確認および解析手法の検討

Research on thermal diffusivity measurement for thin film on substrate by the photoacoustic method. 1. Confirmation of measurement principle and study on analytic technique.
著者 (4件):
資料名:
巻: 25th  号: Pt 2  ページ: 403-405  発行年: 1988年 
JST資料番号: F0872C  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
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薄膜に非接触で測定でき,基板の物性値が未知でも測定できる上記...
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分類 (1件):
分類
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熱伝導 

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