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J-GLOBAL ID:200902015700440248   整理番号:91A0256700

非プレーナ基板上のファセット成長の形態的安定性

Morphological stability of facet growth on nonplanar substrates.
著者 (2件):
資料名:
巻: 58  号:ページ: 403-405  発行年: 1991年01月28日 
JST資料番号: H0613A  ISSN: 0003-6951  CODEN: APPLAB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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ファセット溝のパターンを持つ非プレーナ基板上のCVD成長層の...
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分類 (1件):
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半導体薄膜 
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