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J-GLOBAL ID：200902015714274200   整理番号：84A0187550

陰極スパッタリング用材料

Materialien fuer die Kathoden-Zerstaeubung.
著者 (1件)：
SEVERIN H G

SEVERIN H G について

(DEMETRON, FRG)

DEMETRON, FRG について


資料名：
Vakuum-Technik  (Vakuum-Technik)

Vakuum-Technik について


巻： 33  号： 1  ページ： 3-9  発行年： 1984年02月 
JST資料番号： E0348A  ISSN： 0042-2266  CODEN： VAKTA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： ドイツ (DEU)  言語： ドイツ語 (DE)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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陰極スパッタリングで蒸着した表面被覆の品質はターゲットの性質...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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陰極スパッタリング

陰極スパッタリング について

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分類 (1件)：
分類
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薄膜成長技術・装置 
(BK14020I)

薄膜成長技術・装置 について

タイトルに関連する用語 (1件)：
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陰極スパッタリング

陰極スパッタリング について


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