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文献
J-GLOBAL ID:200902018934020721   整理番号:92A0616749

酸化窒化けい素の非晶質層の組成変化と分光学的特性との関係

Relationship of composition changes to the spectroscopic characteristics of amorphous layers of silicon oxynitride.
著者 (2件):
資料名:
巻: 17  号: 11  ページ: 759-760  発行年: 1991年11月 
JST資料番号: H0665A  ISSN: 0360-120X  CODEN: STPLD2  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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分類 (2件):
分類
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無機化合物のルミネセンス  ,  その他の非晶質の構造 
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タイトルに関連する用語
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