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文献J-GLOBAL ID:200902018934020721整理番号:92A0616749

Relationship of composition changes to the spectroscopic characteristics of amorphous layers of silicon oxynitride.

酸化窒化けい素の非晶質層の組成変化と分光学的特性との関係

著者:SHAVALGIN YU G(Latvian Univ., Riga)、PUNDUR P A(Latvian Univ., Riga)
資料名:Sov Tech Phys Lett 巻:17 号:11 ページ:759-760
発行年:1991年11月
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