ロール被覆法による太陽光用薄膜の生産に用いるその場蒸着監視法

MEYER S F

文献

J-GLOBAL ID：200902019022442168 整理番号：89A0470235

ロール被覆法による太陽光用薄膜の生産に用いるその場蒸着監視法

In situ deposition monitoring for solar film production by roll coating.

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著者 (1件)：
資料名：
巻： 7 号： 3 Pt.1 ページ： 1432-1435 発行年： 1989年05月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

スパッタリングの工程を含むロール被覆法を用いた誘電体/銀/誘...

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光デバイス一般 , 金属薄膜

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