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文献
J-GLOBAL ID:200902019048820853   整理番号:92A0760550

アリールメチルスルホン 新種のフォトアシッドジェネレータ

Arylmethyl Sulfones. A New Class of Photoacid Generators.
著者 (7件):
資料名:
ページ: 41-50  発行年: 1991年 
JST資料番号: K19920271  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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固体デバイス製造技術一般 
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