文献

J-GLOBAL ID：200902019056352923   整理番号：88A0261804

誘導結合形高周波放電に対する2種類の高周波電界の重畳効果

Effects of applying two kinds of R.F. fields on inductively coupled R.F. discharges.

著者 (3件)： 長浜治男 (福井工大) ,  福村隆志 (関西大 工) ,  高元てる夫 (関西大 工)
資料名： 電気学会論文誌 A  (IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials)
巻： 108  号： 2  ページ： 51-58  発行年： 1988年02月 
JST資料番号： S0808A  ISSN： 0385-4205  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 1MHzと13.5MHz及び9.8MHzと13.5MHzの周...

シソーラス用語： 高周波放電 ,...
準シソーラス用語： 重畳効果 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=88A0261804&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=S0808A") }}

分類 (1件)： 気体放電  (BJ03020T)

引用文献 (6件)：

• (1) 福村•高元:「低気圧高周波プラズマの電力吸収」,電学諭A100,2,64(昭55)
• (2) 長濱•福村•高元:「高周波放電プラズマの導電率に対する電界の効果」電学論A,103,5,265(昭58)
• (3) 長濱•福村•高元:「2種類の高周波を重畳して放電させたプラズマの負性導電率」織学論A,105,7.381(昭60)
• (4) S.C. Brown: "Breakdown in Gases: Alternating and High-Frequency Field", Encyclopedia of Physics, Vol. XXII Gas Discharge II, SPRINGER-VERLAG, 532 (1956)
• (5) S. C. Brown: "Basic Data of Plasma Physics", The Technology Press of M. I. T., 5, 50 (1959)

タイトルに関連する用語 (3件)： 誘導結合 ,  高周波放電 ,  高周波電界