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J-GLOBAL ID：200902019368030540   整理番号：91A0912404

サイズ選別した高密度中性半導体クラスター発生法の開発

Size-Selected and High-Density Neutral Cluster Beam of Semiconductor Materials.

著者 (5件)： 若林知成 (東京都大 理) ,  松浦広行 (東京都大 理) ,  鈴木信三 (東京都大 理) ,  城丸春夫 (東京都大 理) ,  阿知波洋次 (東京都大 理)
資料名： 日本物理学会講演概要集(年会)  (日本物理学会年会予稿集)
巻： 46th  号： 2  ページ： 421  発行年： 1991年09月 
JST資料番号： S0671A  ISSN： 1342-8349  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (6件)： サイズ ,  選別 ,  高密度 ,  中性 ,  クラスター ,  開発