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J-GLOBAL ID：200902021308440108   整理番号：91A0414172

窒化ケイ素及び炭化ケイ素のレーザ加工機構の考察

A consideration on laser machining mechanism of silicon nitride and silicon carbide.

著者 (4件)： 柘植明 (名古屋工技試) ,  金山公三 (名古屋工技試) ,  重松一典 (名古屋工技試) ,  中村守 (名古屋工技試)
資料名： 名古屋工業技術試験所報告  (Reports of the Government Industrial Research Institute, Nagoya)
巻： 39  号： 11  ページ： 439-443  発行年： 1990年11月 
JST資料番号： F0514A  ISSN： 0027-7614  CODEN： NAGHA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 窒化ケイ素及び炭化ケイ素のレーザ加工時に生成する粒子成分を,...

シソーラス用語： 窒化ケイ素 ,...

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分類 (1件)： セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V)

タイトルに関連する用語 (3件)： 窒化ケイ素 ,  炭化ケイ素 ,  レーザ加工