文献
J-GLOBAL ID:200902023117916849
整理番号:92A0388417
Microactuators in LIGA technique.
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著者 (1件):
資料名:
巻:
2
号:
4
ページ:
281-284
発行年:
1992年04月
JST資料番号:
W0272A
ISSN:
0925-2096
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)
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