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文献
J-GLOBAL ID:200902023128765168   整理番号:87A0051838

プラズマ処理における簡単な表面温度監視法

A simple method for monitoring surface temperatures in plasma treatments.
著者 (1件):
資料名:
巻:号:ページ: 2392-2394  発行年: 1986年09月 
JST資料番号: C0789B  ISSN: 0734-2101  CODEN: JVTAD6  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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分類 (2件):
分類
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薄膜成長技術・装置  ,  温度測定,温度計 
タイトルに関連する用語 (3件):
タイトルに関連する用語
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