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文献J-GLOBAL ID:200902023130356330整理番号:91A0955534

特集 マイクロマシン マイクロマシンにおける計測・評価 弾性波応用計測とマイクロマシン

Special issue : Micromachine.Measurement and evaluation in micromachine.Measurement and micromachine using elastic wave.

著者:梅田章(計量研)
資料名:日本の科学と技術 巻:32 号:263 ページ:58-63
発行年:1991年11月
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