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J-GLOBAL ID:200902023206492742   整理番号:89A0038439

集積形アモルファスシリコン・モジュールの科学技術的基盤の開発 シリコンとゲルマニウムの新しい揮発性水素化物とふっ化物によるpin構造をもつ改良形アモルファスシリコン・セルの試作

Development of the scientific and technical basis for integrated amorphous silicon modules. Preparation of improved amorphous silicon cells with p-i-n structure based on new volatile hydrides and fluorides of silicon and germanium.
著者 (1件):
資料名:
ページ: 65-69  発行年: 1988年 
JST資料番号: K19880871  ISBN: 90-277-2691-4  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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