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J-GLOBAL ID：200902023235432155   整理番号：90A0311721

高感度表面不純物検出用重イオン後方散乱分光法(HIBS)

Heavy-ion backscattering spectrometry(HIBS)for high-sensitivity surface impurity detection.
著者 (2件)：
KNAPP J A

KNAPP J A について

(Sandia National Lab., NM, USA)

Sandia National Lab., NM, USA について

, 
DOYLE B L

DOYLE B L について

(Sandia National Lab., NM, USA)

Sandia National Lab., NM, USA について


資料名：
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms  (Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)

Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms について


巻： 45  号： 1/4  ページ： 143-146  発行年： 1990年01月 
JST資料番号： H0899A  ISSN： 0168-583X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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軽元素基板上の微量重元素の中間エネルギー重イオンビーム(40...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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Rutherford散乱分光法

Rutherford散乱分光法 について

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分類 (1件)：
分類
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金属,合金の放射化学的分析 
(CC06040Q)

金属,合金の放射化学的分析 について

タイトルに関連する用語 (5件)：
タイトルに関連する用語
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高感度

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不純物

不純物 について

, 
重イオン

重イオン について

, 
後方散乱

後方散乱 について

, 
分光法

分光法 について


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