rfシースにおけるポンデアモーティブ力とイオンエネルギー分布

HAMAGUCHI S; FAROUKI R T; DALVIE M

文献

J-GLOBAL ID：200902023248245753 整理番号：92A0176689

rfシースにおけるポンデアモーティブ力とイオンエネルギー分布

Ponderomotive Force and Ion Energy Distributions in an rf Sheath.

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資料名：
巻： 68 号： 1 ページ： 44-47 発行年： 1992年01月06日
JST資料番号： H0070A ISSN： 0031-9007 CODEN： PRLTAO 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

無衝突rfシースの入射イオンエネルギー分布を高周波領域の一般...

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気体放電 , プラズマ中の電磁波

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