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J-GLOBAL ID：200902040902144220   整理番号：90A0899397

特集:マイクロビームアナリシスの現状と展望 5. レーザによるマイクロアナリシス 5-1. レーザを用いた単原子計測とSNMS

Special feature: Microbeam analysis-Actual status and future development. Microanalysis with laser. Counting atoms and SNMS with laser.

著者 (1件)： 一村信吾 (電総研)
資料名： 学術月報  (日本学術振興会学術月報)
巻： 43  号： 9  ページ： 832-835  発行年： 1990年09月 
JST資料番号： G0082A  ISSN： 0387-2440  CODEN： GAGEA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： イオンビームにより一原子層ごとに表面を削り取るデジタルエッチ...

シソーラス用語： レーザビーム ,...
準シソーラス用語： 二次中性粒子質量分析 ,...

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分類 (2件)： 質量分析  (CC03013N) ,  固体の表面構造一般  (BK15010E)

タイトルに関連する用語 (7件)： 現状 ,  展望 ,  レーザ ,  マイクロアナリシス ,  単原子 ,  計測 ,  SNMS