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J-GLOBAL ID：200902104483170485   整理番号：99A0939511

炭素源溶液に水を混合して堆積したダイヤモンド薄膜の結晶性

The Crystallinity of Diamond Thin Films Fabricated with Water Mixed Carbon Solution.

著者 (4件)： 額賀栄二 (東海大 工) ,  木村英樹 (東海大 工) ,  黒須楯生 (東海大 工) ,  飯田昌盛 (九州東海大 工)
資料名： 東海大学紀要 工学部  (Proceedings of the School of Engineering of Tokai University)
巻： 39  号： 1  ページ： 61-66  発行年： 1999年10月30日 
JST資料番号： G0655A  ISSN： 0563-6787  CODEN： TDKIB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： p型けい素基板上に標記薄膜をCVD法で作製した。エチルアルコ...

シソーラス用語： 化学蒸着 ,...

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分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

物質索引 (1件)： エチルアルコール

タイトルに関連する用語 (6件)： 炭素源 ,  溶液 ,  水 ,  堆積 ,  ダイヤモンド薄膜 ,  結晶性