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J-GLOBAL ID:200902110571393133   整理番号:00A0147075

47GHz ft HBTと0.18μm LeffのCMOSを特徴とする0.24μm SiGe BiCMOS混合信号の無線通信用素子の生産技術

A 0.24μm SiGe BiCMOS Mixed-Signal RF Production Technology Featuring a 47GHz ft HBT and 0.18μm Leff CMOS.
著者 (9件):
資料名:
巻: 1999  ページ: 117-120  発行年: 1999年 
JST資料番号: W0105A  ISSN: 1088-9299  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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ゲート形成後にベースを形成することにより,0.18μm L<...
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分類 (3件):
分類
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半導体集積回路  ,  固体デバイス製造技術一般  ,  マイクロ波・ミリ波通信 

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