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J-GLOBAL ID：200902111403848466   整理番号：97A0068778

CVDの化学工学 小型反応器を利用した解析とモデリング

Chemical engineering of CVD. Analysis and modeling using a small reactor.

著者 (3件)： 秋山泰伸 (九大 機能物質科研) ,  佐藤恒之 (九大 機能物質科研) ,  今石宣之 (九大 機能物質科研)
資料名： 化学工学  (Chemical Engineering of Japan)
巻： 60  号： 12  ページ： 888-890  発行年： 1996年12月 
JST資料番号： F0099A  ISSN： 0375-9253  CODEN： KKGKA4  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： CVDの反応解析に必要な信頼性のある反応モデルと速度パラメー...

シソーラス用語： 化学蒸着 ,...
準シソーラス用語： ホットウォール型反応器 ,...

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分類 (1件)： 反応工学,反応速度論  (XE01020M)

引用文献 (28件)：

• 化学工学会編. CVD ハンドブック. 1991
• COLTRIN, M. E. J. Electrochem. Soc. 1989, 136, 819
• COLTRIN, M. E. J. Electrochem. Soc. 1986, 133, 1206
• KOH, J. H. J. Electrochem. Soc. 1990, 137, 2215
• MOUNTZIARIS, T. J. J. Electrochem. Soc. 1991, 138, 2426

タイトルに関連する用語 (5件)： CVD ,  化学工学 ,  反応器 ,  解析 ,  モデリング