文献

J-GLOBAL ID：200902116141105213   整理番号：02A0099115

微小接触荷重下の単結晶シリコンの摩擦摩耗現象に関する研究

Study on micro-friction behavior between single crystal silicon ball and wafer applied micro load.

著者 (2件)： 富岡利之 (千葉大 大学院) ,  森田昇 (千葉大 工)
資料名： 砥粒加工学会誌  (Abrasive Technology)
巻： 46  号： 1  ページ： 48-50  発行年： 2002年01月01日 
JST資料番号： L0473A  ISSN： 0914-2703  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： マイクロマシンの摩擦力が荷重の減少とともに増大するといわれて...

シソーラス用語： *ケイ素 ,...

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分類 (1件)： 研削  (QC03000R)

引用文献 (2件)：

• 三宅正二郎. シリコンの水による境界条件下の磨耗損傷と接触応力の関係. 日本機械学会論文集(C編). 1997, 63, 614, 266
• 安藤泰久. 微小接触面の摩擦特性. トライボロジスト. 1993, 38, 9, 266

タイトルに関連する用語 (7件)： 微小 ,  接触荷重 ,  単結晶シリコン ,  摩擦 ,  摩耗 ,  現象 ,  研究