東北大学未来情報産業研究館プロジェクト その1  施設紹介と施工方法

村岡憲司; 大見忠弘; 大山喜一郎; 渡部聡

文献

J-GLOBAL ID：200902118384462408 整理番号：03A0078237

東北大学未来情報産業研究館プロジェクトその1 施設紹介と施工方法

The Construction Project of Fluctuation Free Facility for New Information Industry of Tohoku University. Part 1. Facility introduction and construction method.

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資料名：
号： 61 ページ： 45-51 発行年： 2002年12月16日
JST資料番号： G0988A ISSN： 0919-8687 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：解説発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

東北大学未来情報産業研究館は,日本の半導体産業の復権を目的と...

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空気浄化 , 半導体集積回路

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