原子間力顕微鏡一体型加工評価装置の開発 (第2報)  微細加工中の水平分力測定

文献

J-GLOBAL ID：200902120984778594 整理番号：98A0737493

Development of Machining and Measuring System Unifying Atomic Force Microscope. (2nd Report). Measurement of Lateral Force in Nano-machining Process.

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資料名：
巻： 42 号： 8 ページ： 322-326 発行年： 1998年08月
JST資料番号： L0473A ISSN： 0914-2703 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

原子間力顕微鏡の探針は極微小な機械的除去加工に利用されている...

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研削

引用文献 (6件)：

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