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J-GLOBAL ID：200902131007006259   整理番号：02A0870962

MEMS/NEMSデバイスと材料 NEMSデバイス実現へ向けたマイクロオリガミ技術

著者 (3件)： 会田田人 (国際電気通信基礎技術研(ATR)適応コミュニケーション研) ,  久保田和芳 (国際電気通信基礎技術研(ATR)適応コミュニケーション研) ,  VACCARO P (国際電気通信基礎技術研(ATR)適応コミュニケーション研)
資料名： まてりあ  (Materia Japan)
巻： 41  号： 10  ページ： 683-686  発行年： 2002年10月20日 
JST資料番号： F0163A  ISSN： 1340-2625  CODEN： MTERE2  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： マイクロオリガミで微細立体構造を作製する原理とMEMSデバイ...

シソーラス用語： *マイクロマシン ,...

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分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

引用文献 (6件)：

• IEEE J. Selected topics in Quantum Electronics. 1999, 5
• VACCARO, P. Appl. Phys. Lett. 2001, 7, 2852
• KUBOTA, K. Proc. Int. Conf. Optical MEMS. 2001, D-2,39
• 久保田和芳. 第83回微小光学・第2回システムフォトニクス合同研究会「MEMS-フォトニクスへの新展開-」講演予稿集. 2002, 29
• KUBOTA, K. Proc. of the 10th Int. Conf. Modulated Semiconductor Structures, Linz. 2001, 218

タイトルに関連する用語 (2件)： MEMS ,  NEMSデバイス