ECRプラズマCVD法で作製した高品質ダイヤモンド状炭素薄膜

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J-GLOBAL ID：200902131008493803 整理番号：97A0560196

High quality diamond like carbon thin film fabricated by ECR plasma CVD.

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資料名：
巻： 113/114 ページ： 227-230 発行年： 1997年04月
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

プラズマCVD堆積時にバイアス電圧を印加して標記DLC膜を成...

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